@InProceedings{SierraGomezSilvCoraTrav:2019:EsCrDi,
               author = "Sierra Gomez, Javier and Silva Neto, Jos{\'e} Vieira da and 
                         Corat, Evaldo Jos{\'e} and Trava-Airoldi, Vladimir Jesus",
          affiliation = "{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de 
                         Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de Pesquisas 
                         Espaciais (INPE)}",
                title = "Estudo de crescimento de diamante CVD policristalino visando 
                         otimizar a {\'a}rea de deposi{\c{c}}{\~a}o para o diamante 
                         monocristalino",
            booktitle = "Anais...",
                 year = "2019",
         organization = "Workshop em Engenharia e Tecnologia Espaciais, 10. (WETE)",
            publisher = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
             keywords = "Plasma, MWPACVD, Diamante Monocristalino, Filmes Finos e 
                         Espessos.",
             abstract = "O prop{\'o}sito deste trabalho foi estudar par{\^a}metros 
                         cr{\'{\i}}ticos para crescimento de diamante de grau 
                         monocristalino para aplica{\c{c}}{\~o}es espaciais, nas 
                         {\'a}reas da microeletr{\^o}nica e {\'o}ptica. Neste trabalho, 
                         foram estudadas condi{\c{c}}{\~o}es de crescimento de filmes de 
                         diamante policristalino atrav{\'e}s do m{\'e}todo de 
                         deposi{\c{c}}{\~a}o qu{\'{\i}}mica da fase vapor ativada por 
                         plasma de microondas (MWPACVD). Como resultado, a morfologia dos 
                         filmes n{\~a}o apresentou altera{\c{c}}{\~o}es significativas 
                         para porta-substratos diferentes, entretanto, 
                         condi{\c{c}}{\~o}es de pot{\^e}ncia de micro-ondas (2,4 kW) e 
                         press{\~o}es mais baixas (100 Torr) levaram a uma 
                         redu{\c{c}}{\~a}o na intensidade e alargamento do pico 
                         caracter{\'{\i}}stico e aumento na luminesc{\^e}ncia observada 
                         por espectroscopia Raman. Resultados pr{\'e}vios mostram que para 
                         a deposi{\c{c}}{\~a}o de diamante policristalino se permitiram 
                         obter filmes de boa qualidade com {\'o}timas taxas de crescimento 
                         de at{\'e} 16 \μ/h. Os filmes foram avaliados por 
                         Microscopia eletr{\^o}nica de varredura e espectroscopia de 
                         espalhamento Raman para an{\'a}lise de topografia, taxa de 
                         crescimento e qualidade do filme.",
  conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
      conference-year = "07-09 ago. 2019",
                 issn = "2177-3114",
             language = "pt",
         organisation = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)",
                  ibi = "8JMKD3MGPDW34R/3TTAQFL",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGPDW34R/3TTAQFL",
           targetfile = "35 -[Artigo] Javier Sierra Gomez.pdf",
                 type = "CMS",
        urlaccessdate = "27 abr. 2024"
}